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2024年3月19日发(作者：)

XPS测试是一种常见的分析物质组成的方法，不仅可以分析物质的元素组成，还可以

分析元素的化合价。XPS测试需要相当高的真空度，所以样品越干燥越好，自然不可能用

溶液。XPS的测试深度仅有几十纳米。XPS中，光电子被激发出后射向样品外面并被那里

的检测器收集，这个过程与样品本身的性质没有任何关系。测试的时候只需要记住一点要

求：XPS需要极高的真空度，所以送进样品室的任何东西都是越干燥越好，以免其中含有

的液体气化影响抽真空。

X射线光电子能谱分析（XPS测试）样品准备xps其实对固态样品表面还是有要求的

最好洗干净了 然后做个深度剖析 这样会测得准些 粉末的话直接拿去就行了

X射线光电子能谱分析（XPS测试）样品的大小XPS 的样品一般是

10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过 5mm. XPS 分析室的真空度可以达

到<10-9 Pa, 因此样品要干燥，不能释放气体。XPS的灵敏度很高，待测样品表面，绝对

不能用手，手套接触，也不要清洗。

X射线光电子能谱分析（XPS测试）主要有两种样品制备方法。第一，压片的方法。

当样品比较多的时候可以采取这种方法，这样测试结果更为可靠。具体操作就是将样品磨

成细小粉末，均匀铺在铝箔上，盖上一片铝箔，用液压机压平，用剪刀剪成一定形状，揭

开，就可以等待测试了。 第二，硅片制样。该法对制样要求较高，适用于样品较少的情况。

具体操作就是将溶液状态的样品滴加在清洁的硅片上，烘干，即可测试。尽量滴加浓一些，

这样可以减少污染物的影响。

X射线光电子能谱分析（XPS测试）时样品大概需要多少克比较少的样品就可以了，

一般用个几十毫克就足够了。

本文标签： 样品测试方法

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