--作者:第四章离子注入概述离子注入技术是六十年代发展起来，目前在制造中占主导地位的一种掺杂技术离子注入是一种将带电的且具有能量的粒子注入衬底硅的过程。一般工艺流程需次离子注入典型的离子注入工艺参数：能量约，剂量约，注入深度平均可达离子注入