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2024年7月19日发(作者：)
NEDA Desktop Edition
使用手册
A Light and Intelligent Solution
(STDF Analysis tool)
使用手册
©2023, Nornion, Co. Ltd.
All rights reserved.
Document Number: NL-005-01 Rev.S
NEDA Desktop Edition
目录
1 简介
1-1
1-2
1-3
1-4
1-5
NEDA Desktop Edition是什么 ..........................................
功能简介 ............................................................................
安装和激活 ........................................................................
用户界面介绍 .....................................................................
基本分析步骤 .....................................................................
2
操作STDF
打开STDF文件 .................................................................
复测标志(Retest flag)和Summary自动合并 .....................
预选测试项 ........................................................................
解析STDF .........................................................................
编辑STDF .........................................................................
拆分与合并STDF ..............................................................
加载CSV数据 ...................................................................
查询Terabase数据库 .......................................................
3数据表格视图
Summary信息 ...................................................................
测试数据视图 .....................................................................
测试项的定义信息..............................................................
数据筛选 ............................................................................
过程能力统计和相关性报告（mean, StDev, CPK等） .....
数据提取操作 .....................................................................
晶圆数据剔除重复Die .......................................................
恢复Bin信息 .....................................................................
4主要失效和生产过程分析
柏拉图（Hbin, SBin, Test） ..............................................
累计yield 趋势图 ...............................................................
Run Sequence ..................................................................
Bin发生频次图（Occurrence Chart）...............................
5参数项的统计分布
直方图（Histogram） ........................................................
趋势图（Trend Chart） .....................................................
箱图（Box plot） ...............................................................
Probability Chart ................................................................
2-1
2-2
2-3
2-4
2-5
2-6
2-7
2-8
3-1
3-2
3-3
3-4
3-5
3-6
3-7
3-8
4-1
4-2
4-3
4-4
5-1
5-2
5-3
5-4
散点图（Scatter plot） ...................................................... 5-5
交互性图形（nChart） ...................................................... 5-6
6报表功能
报表生成器（ReportBuilder） ...........................................
6-1
通用分析报告（General Report Format） ........................ 6-2
统计分析报告（Distribution Report） ................................ 6-3
7晶圆map分析
Wafer Map（Excel, HTML, TXT） ....................................
Parametric Map（参数基于圆片的分布） .........................
圆片叠片图（Stacked Map） ............................................
Map查看器（Map Viewer） .............................................
Map对比报告 ....................................................................
Map手动Ink ......................................................................
Map自动Ink和规则 ..........................................................
8 其他
软件安装与激活 .................................................................
软件配置 ............................................................................
测试项标识设置* ................................................................
转移授权 ............................................................................
NEDA解析插件 .................................................................
nStd STDF写入库 .............................................................
Tearbase测试数据中心系统 .............................................
7-1
7-2
7-3
7-4
7-5
7-6
7-7
8-1
8-2
8-3
8-4
8-5 8-2
8-6
8-7
简介
NEDA是什么
.
功能简介
.
安装和激活
用户界面介绍
基本操作步骤
1
第一章 简介 NEDA Desktop Edition
使用手册
NEDA是什么？
NEDA是一套完整的STDF解决方案，包括STDF解析，统计分析和STDF创建。此手册仅
介绍STDF统计分析的功能，即NEDA Desktop Edition。
NEDA解析库可以用于二次开发完成STDF解析并返回结构话数据，可存入数据库用于建立
测试数据仓库系统，详情请参考“NEDA_STDF_Loader_开发手册”。
nSTD是STDF写入库，可以用于二次开发来创建STDF文件，请参考“NEDA_nSTD_开发
手册”。
第一章 简介 NEDA Desktop Edition
使用手册
NEDA Desktop Edition (后面简称NEDA)是一款桌面版的STDF即时分析工。NEDA可以很
方便地解析STDF文件，并生成很多常用的统计图形以供工程分析使用。
功能简介
解析:
直接解析各种测试机生成的二进制的STDF文件 (符合第四版STDF规范)
以可视化的界面展示解析好的数据，并可以导出到CSV格式
正常解析速度可以达到20MB/S (普通i5电脑上测试，实际速度受到CPU和STDF
数据密度等情况影响；如果从网络盘访问数据，那么解析速度还受到网速的影响)
STDF编辑:
修改STDF内部信息(仅限MIR里面的信息，如LOT_ID, PART_ID等)
按照Wafer来拆分/合并STDF文件，合并成测的多个partial的数据
修复不完整STDF文件(没有正常结束的STDF文件会缺少一些记录)
数据导出:
解析好的数据可以一键导出到CSV格式 (可以筛选后再导出)
NEDA可以从解析好的STDF生成TXT格式的summary
导出定制化Bin Qty报表
统计分析:
柏拉图 (Hardware Bin, Software Bin, Tests)：主要失效分析
直方图 (测试结果分布)
趋势图 (测试结果测试过程中的走势)
散点图(不同测试项之间的相关性)
箱图(测试结果另一个维度的分布)
Probability Chart (更加清晰的分布图形)
过程能力报告 (Mean, Stdev, CPK, Min, Max等)
第一章 简介 NEDA Desktop Edition
使用手册
交互性统计图形:
NEDA从v18.70开始提供了交互性统计图形控件nChart， 用户可以从工具栏的统计
图形按钮选择测试项并启动nChart Viewer。目前nChart Viewer提供直方图，趋势
图，箱线图和Cumulative Frequency Chart (Probability Chart)。
分组与筛选:
所有统计分析都可以按照常用的分组条件(LOT_ID, SITE, Tester等)进行对比分析
部分统计图形分析时可以按照不同条件筛选数据，用来获得更好的展示
再做分析之前，我们可以对解析出来的原始数据进行筛选(LOT_ID, Wafer_ID, SBin,
HBin)，以获得更专注的分析。
圆片分析:
从STDF生成Wafer Map (Excel, HTML, TXT)
参数Map (Parametric Map):根据每颗Die测试值做的Map
叠片Map (多片Wafer合成的Map图，可以显示每个Die位置fail的次数)
交互式Map Viewer，可以缩放、旋转、替换颜色等操作；可以把多片Wafer Map转
成Stacked Map；可以导出到Excel, BMP和TXT格式。
生产过程分析
：
Run Sequence：批次测试过程中bin的趋势
Bin发生图：批次测试过程中某个Bin的发生率/趋势
累计良率趋势：批次测试过程中每个Site的良率趋势图
测试效率分析：输入index time，软件可以帮你计算批次测试过程中机器暂停的时间
百分比。
测试时间分析：统计测试时间
其他功能
：
分布报告：导出所有parametric测试项的Probability分布图到一个Word文档中
文本Summary：导出文本格式的Summary文件
Bin报表：按照指定格式导出Excel格式的Bin report
恢复Bin信息：有些STDF中没有Summary信息或者没有分site的summary信息，
这个功能可以从STDF原始数据中恢复分site的summary信息并以表格显示
第一章 简介 NEDA Desktop Edition
使用手册
安装和激活
下载：
请从我们官网下载最新的安装程序：/
安装：
直接双节安装程序"NEDA "，接受安装许可并安装；安装完成后软件会自
注册NEDA为打开STDF的默认程序。
动
激活：
1. 获取机器码：打开NEDA Desktop Edition，通过菜单【帮助 - 授权 - 获取机器码】
2. 获取试用授权：
1) 菜单【帮助 - 授权 - 在线激活】在弹出的窗口里填写相关信息获取1个月试用授权
2) 在我们的帮助页面提交机器码并留言，我们系统在收到消息之后会自动生成1个月试
用授权并通过email发送 (请确保email填写正确)
3) 将机器码通过email发送给我们的客服*******************，我们收到之后会尽快
通过email发送1个月试用授权
3. 激活NEDA Desktop Edition：如果您通过email获得了正式或者试用授权文件(.dat)，保存
到您的电脑本地磁盘，通过菜单【帮助 - 授权 - 用Key文件激活】打开激活窗口，在弹出的窗
口中选择刚刚保存的授权文件。重启NEDA即可。
第一章 简介 NEDA Desktop Edition
使用手册
用户界面
工具栏和功能选项卡：
为了方便，我们把绝大部分功能都集成到了工具栏和对应的功能选项卡。只有少部分不常用的
功能需要通过菜单来打开（例如STDF拆分/合并，Bin Report，测试项分布报告等）。
添加文件
打开文件
保存数据/图片
统计分析功能
数据筛选
晶圆分析
数据切换下拉菜单
解析文件
功能选项卡
图形设置栏
图形/数据区域
状态栏
第一章 简介 NEDA Desktop Edition
使用手册
NEDA基本操作步骤
通用三步骤：
NEDA的使用非常简单，一般都依循三个步骤：打开文件 ->解析文件 ->分析与报表。其中
“打开文件”是通过文件浏览器打开STDF文件，NEDA会解析一下每个文件的头信息并显示在文
件列表中，但是不做全部解析；“解析文件”是完整解析文件列表中的所有STDF文件，解析后的
数据都以结构化形式存储在内存中；“分析与报表”是以内存中的解析数据为基础做各种统计图形
和报表分析。
操作STDF
2
打开STDF文件
复测标志(Retest Flag)和Summary自动合
预选测试项
解析STDF文件
编辑STDF文件
拆分和合并STDF文件
修复STDF文件
加载CSV文件
查询Terabase数据库
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
打开STDF文件
工具栏：
可以通过工具栏的和来打开文件浏览器，然后找到需要分析的STDF的路径，打开
STDF文件。在选择文件的时可以结合Shift和Ctrl按键来实现多选。
其中第一个按钮是“打开文件”按钮，如果NEDA的文件列表中已经有STDF文件了，这些
文件会从文件列表中移除，只留下新打开的STDF文件在列表中。
第二个按钮是“添加文件”按钮，这个按钮会向文件列表中追加新打开的STDF文件。这个
工具最有用的一个场景是当我们有多个STDF文件分布在不同的目录是，无法一次性添加到文件
列表，我们需要分两次把文件分别加载的文件列表。
甩拽打开：
可以直接在windows里面把STDF文件拖拽到NEDA中，NEDA会将拖进来的文件自动加入
列表。
双击打开：
如果NEDA在安装时成功通过注册表关联了.stdf和.std的文件，电脑上的STDF文件会显示
为图标，这个时候可以通过双击直接通过NEDA打开STDF文件。但是这种方式一般只能打开
一个STDF文件，当然你可以再通过来添加更多的STDF文件。
注：当然你也可以通过菜单【文件 - 打开文件】来打开STDF文件。在STDF文件打开的时
候，NEDA会解析一下每个STDF文件的头信息并显示在文件列表中，如果文件非标准STDF文
件，则在打开的时候会报错。
修改文件列表的可编辑列(LOT_ID等)：
文件列表中有很多列(如:LOT_ID, JOB_NAME, TEST_COD, FLOOR_ID, MODE_COD等)字
段可以修改，选中指定的单元格，然后点击工具栏的修改单元格信息按钮或者直接按F2，也可以
直接双击对应的单元格。
这个功能非常有用，有时候在采集工程数据时可能没有设置合适的LOT_ID, 则我们就可以借
此来区分不同数据（如：LB1, LB2, FirstPass, Retest, Unit1, Unit2等等），在解析后可以按照
LOT_ID来分组分析(对比分析)。一般在解析之前修改LOT_ID。
LOT_ID字段可修改
把当前选中的文件
从文件列表中移除
文件列表
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
修改JOB_NAM：
在NEDA中数据是按照程序名JOB_NAM存储在不同数据域的，只有相同程序名的数据才可
以放在一起分组分析。如果不同程序名的数据想要放在一起分析，比如程序升级后想和旧版本程
序的数据做对比，则需要在打开STDF数据之后/解析STDF之前修改一些文件列表中的
JOB_NAM字段改成一样，这样在解析之后数据放在了同一个数据域，就可以分组对比了。
复测标志 (retest flag)和Summary自动合并
复测标志(Retest flag)
当我们打开多个STDF文件的时候，如果是同一个lot的测试数据（LOT_ID一致），NEDA
会自动合并Summary信息（所有STDF的summary按照bin做相加处理）。但时候有时候我们
有复测（retest）的数据，我们希望STDF分析工具可以也合并进去，但是这时候就不能简单相加
了，而且复测的时候我们还有可能只复测部分Bin而非复测所有reject，这个时候合并的规则就更
复杂了。
所以我们先要告知NEDA当前所有打开的STDF文件，哪些文件是复测的STDF数据，并且
是如何复测的（是复测所有reject bin，还是复测某些特定的bin）。NEDA提供了一个工具，在用
户打开STDF文件后，选中特定的行，然后点击工具栏上的来把STDF标记为复测数据，同时
NEDA会自动打开一个窗口让你指定复测的Bin信息。
如果您在文件列表中选中了多个STDF文件并同时指定为复测数据，在下面窗口中标记完一
个文件后，需要你点击“Next”按钮，直到所有文件标记完就可以点击OK按钮了。
Summary合并规则
这里我们介绍一下NEDA合并复测数据summary的规则。第一：对于所有非retest的数据，
NEDA会先做简单合并（总数相加，同时也按各个bin把数量相加）。第二：对于复测数据，如果
是复测的是所有reject bin （RT-A），那NEDA会把复测出来的pass bin的数量累加上去而总数
不加，然后用复测出来的各个fail bin的信息去作为最终的Fail Bin的信息。（如果有多个RT-A的
数据，那pass bin的Qty会都加上去，并用最后一次retest的fail bin的信息作为最终的fail bin信
息）。第三：对于只针对某些bin的复测，同样总数不会累加上去而只对Pass bin的数量进行累
加。对于fail bin呢，当前复测的bin的数量用复测出来的bin的数量代替，而对于非retest的bin，
数量是要累加的。
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
备注：对于复测的数量合并，只指针对于Hardware Bin。（因为我们指定的复测bin信息是
针对Hardware bin的）
预选测试项
当解析大量数据的时候，为了加快STDF解析速度和降低内存占用量，在解析之前可以选择
需要分析的测试项，这样在解析过程中只会解析选中的测试项。当打开的STDF文件都是一个程
序名，那么在打开文件后，工具栏的测试项预选按钮就会变成可用状态。直接点击这个按钮打
开测试项选择窗口，在此窗口中选择需要解析的测试项后再点击解析按钮。
注意：当选用TEST_NUM作为测试项标识的时候，通过预选测试项可以明显提高解析速度。
如果选择TEST_NAM作为测试项标识，则解析速度提高不会太明显。不过内存占用量都会明显下
降。
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
解析STDF
解析
在STDF文件加载到文件列表之后，直接点击按钮启动完整解析。如果STDF文件Size
较大，这个过程相对比较耗时，所以你会看到NEDA状态栏显示每个STDF文件的解析进度。
Summary信息：
所有STDF解析完成之后，NEDA会自动显示Summary功能选项卡，让用户比较清晰地了解
批次的测试结果(STDF中需具有Summary相关信息记录)。
注意：如果多个STDF文件的Program和Revision都相同且LOT_ID也相同，那么NEDA
会默认为同一个批次的不同Partial，会自动合并Summary信息。
Raw Data信息：
所谓的Raw data就是每个芯片的每个测试项的结果(Parametric项)，这个数据是最详细的也
是庞大的数据。
注意：NEDA会自动合并Test Program和Revision都相同的数据到同一个数据域中，后期可
以按照不同的因子(LOT_ID, Tester, Site 等)分组对比分析。不同Program的数据存放于不同的数
据域中，不可以分组分析（不同Program产生的数据结构不一样，所以不能放在同一个数据域
中）。
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
编辑STDF
修改STDF头信息
NEDA提供了STDF编辑功能，但目前只限于修改STDF的头信息(MIR)，因为其他测试结果
的数据没有意义去修改。
当STDF解析完成之后，选中对应的STDF文件行，然后点击工具栏按钮打开MIR编辑器。
STDF修改完成之后NEDA会让用户保存到另一个文件，原来的STDF文件不会修改。
MIR信息修改
打开文件保存
框，选择文件名
并保存
批次测试效率和
测试时间分析
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
批量修改STDF头信息
如果需要批量修改多份STDF的MIR头信息，那可以通过“批量MIR编辑器”来实现。通过
批量MIR编辑器来修改STDF头信息，不需要于解析STDF，只需打开STDF文件，然后通过点
击工具栏打开MIR编辑器。
在MIR批量编辑器中通过工具栏批量设置字段值来修改内存中STDF的MIR字段值。也可以
在表格中双击单元格来修改某个单元格的值。在修改完各字段值后，选择目录存储修改后的STDF
文件，然后点击“写入文件”按钮，NEDA会一次性更新全部STDF文件。
拆分和合并STDF
拆分STDF
拆分STDF功能主要用于Wafer Sort的STDF数据。一个wafer lot一般有25片Wafer左右。
对于Wafer Sort的STDF文件，有两种情况，一种是每一片Wafer保存一个STDF文件，另一种
情况是一个Wafer lot保存一个STDF文件。现在行业里面大部分都是一片Wafer保存一个文件，
有时候遇到Prober设置异常导致多片Wafer的数据存储到了同一个STDF中，这时候可以用
NEDA来把它们拆分开。
在进行STDF拆分是，需要先打开STDF文件，并解析完成。然后通过菜单【工具 - STDF
拆分】来进行STDF拆分操作。
合并Wafer Sort STDF
如果你需要把一批单片wafer的STDF文件合并到一个STDF文件，你同样可以用NEDA来
实现。把所有单片Wafer的STDF文件都加入到NEDA文件列表中，解析所有文件，然后通过菜
单【工具 - STDF合并】来进行合并操作。
NEDA也可以合并Final Test的STDF文件，有时候我们测试一片产品的时候由于各种情况
会导致一批产品分成了几个partial STDF，如果需要合并成一个STDF文件，同样可以有NEDA
来实现。操作同上。
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
修复STDF
不完整STDF的修复
有时候由于一些异常情况会导致我们的STDF文件不完整（没有正常结束），这些STDF会
导致很多解析工具报错，或者客户的数据系统不接受。这时我们就可以用NEDA来修复这戏
STDF，修复的过程就是NEDA会根据STDF的信息内容重建文件末的一些必要记录。
操作步骤：菜单【工具 - STDF修复】，选择你需要修复的文件，然后开始解析，解析完成后
如果NEDA检测到STDF不完整，会自动修复STDF文件。修复后原来的STDF将被修改。
注意：1）如果STDF文件中最后一颗芯片的测试数据不完整，NEDA会自动舍弃最后一颗数
据然后在末尾补上必要记录。2）如果STDF的采样率(Sample Size)不是1:1，则无法修复
（Summary信息无法重建）。3）如果STDF中没有任何新品的测试数据，则不会做任何修复。4）
在STDF文件被修复后，如果需要用NEDA分析，需要重新打开文件再重新解析。
STDF修复成功
STDF修复失败
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
最后一颗不完整的die数据会被自动舍弃。
STDF最后一颗产品数据不完整，继续
修复则舍弃最后一颗产品的数据
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
加载CSV数据
从V18.60开始NEDA就支持了通用的CSV数据加载，用户可以把任何CSV数据加载到
NEDA里面来创建统计分析图形。CSV数据不限于半导体测试数据，用户可以把各行各业的数据整
理好，导出CSV格式，然后加载进NEDA分析，虽然格式没有太多要求，但是还是需要满足一些
条件。
普通数据格式一般第一行是表头，第一列数据一般是series，用来区分不同组数据，分组对比
用的。数据中可以有limit和unit，也可以没有。打开普通的CSV数据的时候，NEDA会弹出一个
窗口让用户指定表头,limit, unit的行和series的列。直接在行或者列的头上右击，然后标记为特定
的行和列，最后点击ExtractAll 就可以了。
对于半导体测试的数据，您需要指定更多行和列，比如TestNum, TestName行和 LOT_ID,
Wafer_ID, SITE_NUM, PART_ID, HBIN, SBIN列等等，其中LOT_ID是必须的，如果是CP的数
据Wafer_ID也必须有。如果是NEDA导出的CSV则可以直接加载进来，不需要手动标记行和列。
第二章 操作STDF NEDA Desktop Edition
使用手册
查询Terabase数据库
Tarabase(简称TBS)是我们一款基于数据库的测试数据系统，Terabase服务器会把上抛的
STDF数据都解析并存入数据库。我们有一款基于Terabase数据库的Web Application，可以提供
查询和分析数据的界面。
同时NEDA也集成了Tarabase数据库查询的功能。可以在NEDA中直接连接Terabase数据
库，查询相关的数据并拉取到NEDA中分析。用NEDA作为Terabase的分析界面交互性会更好一
些，NEDA提供的分析和编辑功能更加丰富。
在NEDA中使用Terabase查询功能之前需要先准备Terbase的数据库配置文件()，并
放到NEDA安装目录下的Config目录中。准备好配置文件后，工具栏的Terabase数据库图标就变
成可用状态，点击此按钮会打开Terabase数据库查询界面。
在Terabase查询界面中查询和筛选所需要的数据，最后点击”导入NEDA”按钮把查询到的数
据导入到NEDA中分析。
数据表视图
3
Summary 信息
测试结果视图
测试项定义信息
数据筛选
过程能力分析（Mean, StDev, CPK等）
数据提取管理器
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
Summary视图
批次汇总信息：
Summary信息是整批lot测试的汇总结果，主要有Hardware Bin信息，Software Bin 信息和
测试项的统计结果。这些信息可以让我们对整个lot的测试有个整体的印象，让我们了解批次的主
要失效是在哪些项。
Summary信息在NEDA的内存中是按照LOT_ID存储的，不同LOT_ID的Summary通过
“切换下拉菜单”来切换。如果解析的STDF中有同一个LOT的不同STDF文件，Summary会
自动被合并。如果不想NEDA自动合并，可以在解析之前修改文件列表中的LOT_ID来区分。
Summary信息视图中主要包含三个板块：HBin, SBin和Test统计结果。每个表格的表头都
可以用来排序，直接单击即可升序排序，再次单击则降序排序。在测试项统计结果中，这个排序
很重要，如果按照“Failed”列降序排序，我们就可以很容易看到主要的失效项（Fail最多的项）。
然后又可以在对应的行上面双击打开对应测试项的分布统计图，同时这个测试项也会被加入到
“选定测试项列表”中，大家可以直接切换到其他统计分析工具创建不同的统计图形（而不需要
再重新选择测试项）。
保存Summary到Excel
Summary切换下拉菜单
Hardware Bin 结果
Software Bin 结果
点击表头可以按数量排序
双击行打开对应测试项的分布图形
测试项统计结果
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
测试结果视图
测试结果（Raw data）
测试结果数据就是每颗芯片每个测试项的详细测试结果，是最全的测试数据。其中还包含每
颗芯片的Part_ID, SITE_NUM, X-Y坐标，Bin信息和Test Time信息(ms)。
数据域(数据表):
测试结果数据是按照程序名(JOB_NAM)来区分的，同一个测试程序产生的数据会保存在同一
个数据域中(如果同一个Program产生的不同STDF数据解析后会自动合并到同一个数据域中)，
同一个数据域里面的数据可以在统计分析的时候按照不同因子分组对比分析。不同Program的数
据域切换通过工具栏上的下拉菜单来切换。
注意：如果想把不同程序的数据放在同一个数据域分组对比分析，则需要在打开STDF之后
解析之前，在文件列表中修改一下JOB_NAM列的数据，改成一样即可。
注意：
所有的统计图形分析都是基于当前的数据域。
保存到CSV
表格 筛选数据 数据表切换
PART_TEXT和CHIP_TEXT（DTR记录）
现在有些比较大的SOC芯片每颗都具有唯一的ChipID, 一般把ChipID保存在PRR
的PART_TXT字段是比较理想的做法，这样在解析完每颗芯片的数据后都可以准确读取
其芯片ID， NEDA把每颗芯片的PART_TXT保存在测试结果数据表的PART_TEXT列。
由于一些限制，部分机台无法把ChipID写入PRR的PART_TXT字段，这时候一
般会用DTR来存储，由于DTR记录是没有Site信息的，所以在多Site测试数据中就比
较难对应，所以建议每颗芯片的数据中最好只有一个DTR记录。这里我们演示一下
NEDA读取DTR数据的逻辑，读取出来的数据会保存在测试结果数据表的CHIP_TEXT
列。
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
DTR和CHIP ID
DTR和CHIP ID：有些大型的芯片都有唯一的UID，一般UID都是存储在PRR的
PART_TEXT中的，这是最好的做法。但是也有些是放在DTR中的，由于DTR的数量是任意的，
和PRR的数量不是一一对应的，所以有时候解析的时候就没有办法对应上，下面是NEDA的通用
做法。
多Site的DTR解析：
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
DTR筛选：有些时候每颗die的数据里面会包含多个DTR，这个时候就没办法对应site了，
不过我们提供了DTR筛选功能，可以从多个DTR中筛选包含特定关键字的DTR作为Die ID.
请在NEDA菜单编辑 -> 首选项 里面设置CHIP ID对应DTR的关键字。
有site fail时DTR错位问题：即使有了DTR筛选功能，由于一般在测试程序里面CHIP ID的
读取都是在open-short测试之后的，如果有site fail open-short的时候(如果不是最后一个site)，
那么CHIP ID对应的DTR数量就少于SITE的数量，这个时候就会发生解析错位的问题，不管那
个site fail，最后都是最后一个site没有CHIP ID信息，并且其他site的CHIP ID也会错位。这种
错位情况只发生在当前的insertion。
如果要解决这个问题，需要在测试程序中保证不管有没有执行CHIP ID读取测试项，都必须保
证当前unit测试结果中包含CHIP ID的DTR信息。具体做法：在测试结束的时候做bin out之前写
入包含CHIP ID的DTR, 如果某site的读取CHIP ID的测试项没有执行(一般是因为fail open-short)
则对应site写入空的CHIP ID, 但是必须包含CHIP ID对应的关键字。
CHIP: XD84761
SITE0
SITE1缺少CHIP ID信息
CHIP:
CHIP: XD84765
CHIP: XD84767
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
FTR和CHIP ID
有些客户的CHIP ID是存储在FTR的VECT_NAM字段的，NEDA也支持从VECT_NAM解
析CHIP ID。您只需要在菜单 编辑 – 首选项 中把CHIP ID Record选择为FTR_VECT_NAM， 并
指定CHIP ID的关键字就可以了(注意：关键字是必须指定的，因为一个die的数据中有很多FTR,
但是存储CHIP ID的FTR只有一个)。
测试项定义信息
STDF中是保存了每个测试项的定义信息的，主要是测试项的limit和单位，这些信息在做统
计分析时会自动显示在统计图形上，让用户可以清晰了解分布相对于limit的信息。这个“上下限”
功能选项卡里面通过表格的形式展示测试项的定义信息。
修改Limit：
在这个表格视图中，LO_LIMIT和HI_LIMIT列的值是可以修改的。修改之后
重新做统计图形时，图上的limit线会自动更新，同时统计参数的值(Stdev, CPK)也会更新。这个
功能主要用来通过调整limit查看过程能力CPK的值。
调整方式：在对应的测试项limit的行的LO_LIMIT和HI_LIMIT的单元格双击，修改完之后按
一下回车键以确认。
注意：Limit Table支持复制粘贴功能，用户可以在Excel中把Limit编辑好，然后复制粘贴到
Limit Table中。
数据筛选
打开数据筛选器
有些时候我们需要对原始数据做一些筛选后再做统计分析图形，或者筛选后导出到表格。
NEDA提供了强大的数据筛选工具，在STDF解析完成之后，点击按钮打开数据筛选窗口，对
当前数据域的数据进行筛选。
基础筛选：
NEDA提供了基础筛选功能，这个功能简单好用，可以直接按照LOT_ID,
Wafer_ID, SITE_NUM, Pass-Fail, HBIN, SBin来进行筛选，直接在筛选器的右边对应列表中选择
需要的数据条件。
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
自定义筛选
：如果需要做自定义筛选，请勾选窗体左下方的“使用自定义筛选”，此时基
础筛选会不可用，而自定义筛选会变为可用。然后就可以自己定义筛选条件了。现在的筛选条件
包括（LOT_ID, Wafer_ID, Part_ID, HEAD_NUM, SITE_NUM,X-Y坐标，HBIN, SBIN, TETS_T）。
测试项搜索(筛选)
： 在测试项比较多的时候，您可以使用测试项搜索功能来筛选测试项，
可以通过Test_Num或者Test_Name来筛选，NEDA会根据您的输入随时刷新可选测试项列表，
当您按下Enter键时会自动选中所有筛选出来的测试项，此时您再次按下Enter时，会自动把选中
的测试项放到右边的已选测试项列表。
交互性图形分组选择框：在测试项选择界面有一个分组因子选择框，这个是给交互性图形
(nChart)专用的，在选择测试项的时候同时指定分组因子，旨在nChart选择分组因子时可用。
测试项搜索
已选测试项列表
基础筛选功能
可选测试项列表
交互性图形专用分组选
择，只在交互性图形选
择测试项时可用
选择所有测试项
选择已选测试项
自定义筛选框
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
按测试项数值自定义筛选：
还有特别筛选需求的时候，用户需要根据测试项的值来自定义筛选数据。这个时候你需要勾
选“使用已选测试项值作为筛选条件”。然后在“已选测试项的列表”中选中一个测试项，设置
对应的条件和数值，点击“添加”把筛选条件添加到右边的筛选条件框中。
注意：筛选数据时一定记得选择你需要的数据列，如果不选，那筛选完之后就没有数据了。
但是不要紧，可以通过工具栏的“重新加载”或者筛选器上的“重新加载”把原始数据再加载回
来。如果你选择了部分列，筛选完了之后就只剩下这几个数据列的数据了，然后你也可以通过
“重新加载”把其他数据都重新加载回来。
选中测试项
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
过程能力分析和相关性验证报告
过程能力分析（Mean, StDev, CPK等）
过程能力分析是用来计算每个测试项的常用统计参数：Mean, StDev, CPK, Max, Min,
Executed Count, Fail Count等）。这些信息在我们做相关性验证（Correlation）的时候非常有用，
其实这个工具主要是为相关性验证设计的。
与统计分析的链接：
因为这里可以看到每个测试项的CPK和Fail统计，所以我们也做了与统计分析的链接。在选
中的测试项行上面双击，可以自动切换到分布功能选项卡并作出直方图，当然你这时也可以切换
到其他统计功能选项卡直接点击创建作图，因为在我们双击测试项行的时候对应的测试项已经被
自动加到“选中测试项列表”了。
分组：
这里在做过程能力分析时，我们是可以按照SITE_NUM, LOT_ID等信息来分组计算的，这样
数据导出后可以按照SITE或者LOT_ID等信息来做相关性对比。
拆分文件
切换下拉框
相关性验证报告
在半导体测试行业遇到任何硬件软件的改动，一般都需要做相关性验证，以检视变
动后的结果是否符合预期，是否会带来任何非预期的影响。NEDA可以在制程分析报告的
基础上（需先生成制程能力报告）进一步分析相关性并生成Excel的报告。
其中对比分析是按照每一个测试项在两个“分组对比条件”（LOT_ID）之间进行的，
对于每个“拆分条件”（SITE_NUM）会生成一份不同的相关性对比报告。其中“Bias”
是用来表征两个分组之间的差异有多大，默认10%内可以接受，超过10%则标记为红色。
Bias = (Average1 - Average2)/(USL-LSL)
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
相关性验证报告
在半导体测试行业遇到任何硬件软件的改动，一般都需要做相关性验证，以检视变动后的结
果是否符合预期，是否会带来任何非预期的影响。NEDA可以在制程分析报告的基础上（需先生
成制程能力报告）进一步分析相关性并生成Excel的报告。
其中对比分析是按照每一个测试项在两个“分组对比条件”（LOT_ID）之间进行的，对于每
个“拆分条件”（SITE_NUM）会生成一份不同的相关性对比报告。其中“Bias”是用来表征两
个分组之间的差异有多大，默认10%内可以接受，超过10%则标记为红色。
Bias = (Average1 - Average2)/(USL-LSL)
测试项的信息
分组2的统计结果
分组1的统计结果 对比结果
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
数据提取管理器
什么是数据提取管理器
数据提取管理器主要是为了从FT的数据中提取Wafer ID, 和X, Y坐标信息。很多IC都会在
CP的时候把X,Y坐标和DieID信息写入Die的ROM中，然后在FT的时候读出来写入Datalog，
这样在FT的时候就可以tracking Die Id和坐标信息。如果把每颗die的X,Y坐标信息提取出来，
还可以做出FT的Map。数据提取器就是为了这个功能设计的。数据提取规则（数据提取操作）定
义好之后，执行的时候是对每一行单独操作的。
首先介绍一下概念。一个“数据提取操作”，我们称之为一个“DataOperation”，比如我们
想把一个或多个测试项的数据提取出来组合之后放入PART_TEXT字段，这个就被称作为一个“数
据提取操作”。在一个数据提出操作中有一个目标字段“PART_TEXT”和多个输入字段”多个测试
项的值”，并且每个数据字段可以做一些特殊的转换和处理“转成ASCII, 按照特定字符拆分，字符
串截取”.
目标字段只能是：LOT_ID, WAFER_ID, PART_TEXT, CHIP_TECT, X_COORD, YCOORD，
且一个数据提取操作中只能有一个目标字段。
输入字段：可以是任意一个或者多个测试项的列，同时可以对每个输入字段进行不同的数据转
换或者截取操作。
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
通过菜单【工具】->【从测试数据中提取X,Y坐标】打开数据提取管理器。界面如下，这个工
具功能比较强大，但是操作起来有些复杂，这里我们详细介绍一下。
添加“数据提取操作“步骤：
1. 选择目标字段
2. 从右边测试项列表中选择测试项作为输入字段(源字段)
3. 设置数据转换和截取操作，如果需要的话(可选)
4. 把设置好的输入字段添加到数据“数据提取操作“中
重复步骤2 –步骤4 添加多个测试项到当前“数据提取操作“ (可选)
5. 把当前定义好的“数据提取操作“添加到下面的列表，这个操作会自动保存
数据转换说明：目前NEDA提供四种数据转换，
1) 拆分，把测试结果转换成字符串，按照特定字符拆分，并取其中一个字段
128.64 ->按照’.’拆分，取第一部分(index=0)-> 128 64 ->128
2) 截取，把测试数据转换成字符串再截取其中特定长度的字符
256.483 ->从第五位(start=4)开始取长度为2的字符-> 256. 48 3 ->48
3) 转换成ASCII码，即把测试项中的数字转换成字符
65 ->转换成ASCII字符->A
4) 补全，规定最终字符长度，如果长度不够，自动补全指定的字符
8 ->用0在左边补全，最终长度是2 ->08
四种数据转换操作在内部执行的顺序：
拆分
ASCII转换
截取
补全
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
数据操作定义/添加
数据操作的字段定义
测试项列表和搜索
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
已添加的’数据操作定义’列表 执行选中的数据定义操作
执行“数据提取操作“
1. 在“数据提取操作“列表中勾选你要执行的数据提取操作
2. 点击“执行数据操作“按钮，NEDA会自动更新当前的”原始数据表格”
备注：
下次打开数据提取管理器的时候，会自动加载您定义过的数据提取操作到列表中，您只需要勾
选，然后执行即可。如果要删除“数据提取操作“，只需要选中对应的行，然后点删除按钮即可。
每次添加数据提取操作的时候，NEDA会自动加上程序名标签，默认情况下只显示当前数据表
对应程序名的“数据提取操作”，如果你需要显示所有，可以勾选“显示所有”。这么做是因为数据
提取操作确实是针对特定测试程序的，不同测试程序的测试项和顺序都不一样，所有在使用过程中
“提取规则“会越来越多，不方便查找，所以NEDA默认只显示适用于当前程序的规则。
第三章 数据表视图 NEDA Desktop Edition
使用手册
晶圆数据剔除重复Die
晶圆测试数据中一般都会有自动重测，所以再解析了CP的STDF之后，你会发现Summary
信息会比实际晶圆的总die数要多，并且原始数据中的数据行也是要比晶圆die总数要多的。其实
这个很正常，应该在测试过程中Tester是不知道目前是First test还是重测，所以Tester会直接把
数据累加并写入STDF。
NEDA在生成Map的时候已经自动根据X,Y信息对于重复坐标的die，会用后面的数据代替前
面的数据。所以在Map中显示的数据是正确的，并且在Map的右边summary中你会看到wafer的
真实yield和复测的die的数量。
如果你需要在做统计分析的时候也需要根据X,Y用复测的数据代替初测的数据，您可以在做统
计图之前用NEDA的“剔除重复die”的功能，菜单 [数据] – [剔除重复die]，在这个操作之后
NEDA就会把原始数据中的重复坐标的数据行删掉(保留最后一次测试的数据行)，这样在做统计图
的时候就不会收到重复die数据的干扰。
恢复bin信息
在剔除了重复die之后，您可以再调用NEDA的恢复bin信息功能 (菜单 [数据] – [恢复bin信
息]) 来从原始数据计算summary数据并更新到Summary表格中去(仅针对HBin和SBin), 这样你
就可以获得了真实的wafer良率和bin的数据量。同时这个功能还可以为没有summary或者缺少各
site的bin信息的数据 (有些STDF中只包含总的bin数量，却没有每个site单独的bin数量) 从原
始数据恢复出来summary。
主要失效和生产过程分析
柏拉图（HBin, SBin and Test Pareto）
累计良率趋势图（Cumulative Yield Trend Chart ）
测试序列图（Run Sequence）
Bin发生频次图（Bin Occurrence Chart）
图片保存和复制
4
第四章 主要失效和生产过程分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
柏拉图（Pareto）
图形化的Major Failure分析
柏拉图就是对Summary信息进行图形化，把Bin和Test按照数量降序排列在图形上，这样
可以一眼就可以了解哪些Bin和Test是fail最多的。
柏拉图可以按照不同分组条件(LOT_ID, Tester, SITE等）来分组对比分析，直接选择对应的
分组条件再点击创建按钮就可以。
柏拉图分为HBin Pareto，SBin Pareto，Test Pareto和组合Pareto。其中组合Pareto是把
HBin和SBin Pareto放在一起看，同时显示出所有HBin和SBin的Fail数量和百分比。这个组合
柏拉图看起来非常清晰。组合柏拉图都是按照LOT来分组创建的。
LOT切换
组合柏拉图
第四章 主要失效和生产过程分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
累计良率趋势图（Cumulative yield trend chart）
这是一个批次测试过程中的良率趋势图，会分Site显示，可以用来检查测试过程中是否有
Site的良率异常变化。之所以叫“累计良率”是因为图上每一个点都是用这个点之前所有芯片测试
机结果计算出来的良率。这个工具对于了解生产过程的状态非常有用。
测试序列图（Run Sequence）
测试序列图
这个图形是按照测试过程把芯片的测试结果(HBin, SBin)按照测试的顺序排列起来，这样方便
用户检查在测试过程中是否某个Site有Bin Stuck问题，也就是从某一个芯片开始某个Site一直
fail同一个Bin。也可以用来对比Site之间的状态。
生成测试序列图
在STDF解析完成后，直接点击工具栏按钮，NEDA在常见完成后自动打开Exports目录，
用户直接双击对应的Run Sequence通过Web浏览器打开Run Sequence。在打开的网页上可以
切换HBin和SBin，同时也可以切换缩放比例。
第四章 主要失效和生产过程分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
第四章 主要失效和生产过程分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Bin发生频次图
这也是一个非常有用的生产过程状态检查的工具，横轴是产品测试顺序，在测试过程中有一
个特定的Bin（选择的Bin#）就会在图上对应位置画一条竖杠。这个图可以检查特定Bin的发生频
率是否随着时间变化而变化。比如某个Bin是与接触有关的(Rdson,LDO),就可以在图上看出这个
Bin的发生随着时间越来越频繁。
在STDF解析完成之后，直接选择Hardware Bin或者Software Bin然后再选择需要分析的
Bin#，点击创建按钮直接生成图形。
图片保存和复制
在NEDA中所有图形的保存都可以点击按钮将所有选中的图形保存到指定的路径。也可以
在图形上右击然后复制图片，再到Word/Excel/Output粘贴，一次只能复制一张图片。
保存图形到指定位置
切换HBin/SBin
选择Bin#
右击图片复制到剪贴板
参数项的统计分析
直方图（Histogram）
趋势图（Trend Chart）
箱图（Box Plot）
Probability Chart
散点图（Scatter Plot）
测试项Limit调整（在测试项定义信息表格视图中修改）
交互性统计图形工具（nChart）
5
第五章 参数项的统计分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
直方图（Histogram）
创建直方图：
直方图是我们最常见的统计分布图形，在STDF解析完成之后，直接到“直
方图”功能选项卡，点击“创建”按钮会创建已选中的测试项的直方图。
选择测试项：
你也可以通过“测试项”按钮打开测试项选择窗体，来选择你需要分析的测
试项，筛选完成后NEDA会自动创建你所选测试项的直方图。选中的测试项会保存到“选中测试
项列表”，可以切换到其他分析工具直接生成对应图形。
分组对比：
可以通过选择“分组条件”的因子来对比不同因子（如不用SITE）之间的直方
图。
自定义图形：
可以修改图形的长度，宽度和颜色来创建不同风格的图形。也可设置柱子的
数量来细化直方图的显示。同时筛选条件可以调整直方图的范围来缩放显示范围。勾选合并分组
可以把不同分组条件的图形放在同一张直方图上显示，更容易对比。
图片选择，保存和复制：
可以单击图片来选择和取消选择图片，也可以通过“全选”按
钮来选择全部图形和取消选中全部图形。保存图片是点击工具栏的保存按钮，NEDA会把你选
中的图形保存到指定的路径。可以右击任何图片来复制图片到剪贴板，然后直接粘贴到Word,
Excel, Outlook等应用中。这些操作适用于所有NEDA中的图形分析工具。
保存图片
不同程序的测试数据切换
图形自定义栏目
打开测试项选择窗口
选中的图片
被绿色框高亮
右击图片复制到剪贴板
第五章 参数项的统计分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
测试值趋势图（Trend Chart）
趋势图：
测试项趋势图用来显示测试项的值在批次测试过程中的变化趋势。比如对接触敏感
的LDO输出电压，在长时间测试过程中可能会由于接触的状态而慢慢降低。
选择测试项
：在趋势图功能选卡里面直接点击“创建”按钮，会创建“选中测试项的列表”
中所有测试项的趋势图。也可点击“测试项”按钮重新选择测试项。
其他操作与直方图类似。
第五章 参数项的统计分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
箱图（Box plot）
Box plot：
箱图也是一个比较常用的统计分析工具，在箱图上标注了Mean值线，上四分
位和下四分位以及上下边缘线。Outlier在图上也可以很清晰被分辨。同时箱图在不同分组条件之
间对比时显示的也非常清晰。
第五章 参数项的统计分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Probability Chart
Probability Chart 又称为Cumulative Frequency Chart
这也是一个非常好用的统计分析图形，它与直方图和箱图有区别也有相同之处。这个图在欧
洲半导体界比较受欢迎。Probability图展示的数据要比直方图和箱图都更清晰，同时可以清晰地把
多个分组条件的数据放在同一张图形上对比。同时又可以看出数据的主要可能性落在哪一个范围，
以及偏离出limit的数据的可能性区间。
NEDA对Probability图形生成器做了优化处理，所以生成Probability图形的速度非常快。我
们建议首选这个图形作为测试项参数的分布分析。
(图形保存和复制与其他图形工具类似，请参看直方图的讲解)
图形显示的范围，用来
缩放图形的显示区间
第五章 参数项的统计分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Probability Chart 如何阅读
Probability图形的横轴是测试值的分布区域，图上以红色实线标记了test limit所在的位置，同
时用蓝色虚线标记了平均值的位置
纵轴是落在对应区间的可能性（也可以简单理解为百分比）。在纵轴的0.99 ~ 0.01的区间包
含了左右样本点中98%的样本点分布，可以对齐到横坐标查看98%的样本点分布于那个测试值区
间。同时我们也可以查看超出上限或者下限的样本的比率。
图形的标题部分列出了测试项名称上下限和一些常用统计参数等信息（mean, stdev, median,
min, max, cpk）
第五章 参数项的统计分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
散点图（Scatter Plot）
散点图（Scatter Plot又叫X-Y Plot）
散点图是把两个测试项的值放在同一张图上，一个测试项作为X轴，另一个测试项作为Y轴，
用来显示两个测试项之间的相关性。例如：在电源管理芯片中一般为了输出电压的精确，会在测
试的时候用Trim来做一下微调，所以先量一下数据电压，再通过特定的fuse trimming之后再量一
次。第二次的电压是在第一次量到的电压的调整值。所以两者是有关系的。如果在trimming计算
过程中有bug，Scatter plot就可以一眼看出来问题。
NEDA在做散点图的时候，会把“选中测试项列表”中的测试项两两都分析一下，所以散点
图的总数是Cn2。建议每次不要放太多测试项。
第五章 参数项的统计分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
交互性图形 (nChart)
NEDA从v18.70开始加入了交互性统计图形工具(nChart)，这是一套可交互的统计图形工具，
用户可以在界面上通过鼠标的甩拽和滚轮来实现图行的平移和缩放，同时可以通过点击Legend来
highlight对应的分组来查看清对应分组的数据分布。
交互性图形通过点击NEDA工具栏对应的图形按钮
同时需要指定分组因子。
来打开，在选择测试项的时候
目前nChart仅支持Histogram, Trend Chart, Box plot 和Cumulative Frequency (Probability),
在数据量比较大的时候Trend Chart渲染相对较慢，其他图形都非常快。
缩放和平移：可以通过鼠标滚轮来缩放图形，鼠标甩拽来平移图形。在缩放和平移的过程中，
显示范围会被记录。你也可以通过工具栏把当前调整后的显示范围应用到其他测试项。
分组条件：交互性图形的分组条件是在选择测试项时候指定的，见下图。
保存当前图形到
图片文件
重置显
切换图
示范围
形类型
复制当前图形
到剪贴板
显示区间
导出所有图
形到Word
交互性图
形专用的
分组条件
切换到 上一个/下一个
测试项
滚轮缩放
甩拽平移
应用当前显示范
围到其他测试项
测试项列表，
选择不同测试项会
触发图形重新加载
鼠标移到对应分组图
形上会自动高亮显示
点击Legend来高
亮显示对应分组
的分布
报表功能
6
报表生成器（ReportBuilder）
通用分析报告（General Report Format）
分布报告（Distribution Report）
第六章 报表功能 NEDA Desktop Edition
使用手册
报表生成器 (ReportBuilder)
ReportBuilder：
报表生成器是一个临时空间，可以让用户自由地把NEDA产生的统计分
析图形，柏拉图等加入到这个临时空间，也可以把TestCapability表格加入其中，然后可以一次性
生成一个PDF Report。
1) 添加：在制成能力报告和组合柏拉图报告的选项卡中都有“添加到ReportBuilder”按钮，
可以让用户把组合柏拉图表格和制成能力报告的表格添加的“ReportBuilder”。在统计分分报告中
也有”添加到ReportBuilder”按钮可以将选中的所有图形添加到ReportBuilder, 用户也可以右键指
定的图形，通过右键菜单“添加到ReportBuilder”来把单幅图形添加到ReportBuilder。
2) 导出：通过菜单【报表】->【ReportBuilder】->【导出】来把ReportBuilder中的内容导出
到PDF文件。
3) 初始化/清空：通过菜单【报表】->【ReportBuilder】->【初始化/清空】来清空
ReportBuilder的内容，以便创建新的Report
第六章 报表功能 NEDA Desktop Edition
使用手册
通用分析报表(General Report Format)
通用报表：
是一个标准的报表格式，会从当前解析完成的数据中创建一个PDF报表，其中
包含表格形式的Software Bin柏拉图，测试项的图形柏拉图，制成能力报表的表格和Top 10 fail
项的histogram。
解析完STDF文件后，直接通过菜单【报表】->【通用分析报告】来创建。
统计分析报表(Distribution Report)
统计分析报表：
是一个PDF报表，其中包含所有测试项的Probability统计分析图形。
解析完STDF文件后，直接通过菜单【报表】->【统计分析报告】来创建。
晶圆分析
7
Wafer Map（Excel, HTML, TXT格式）
Parametric Map（测试项值基于圆片的分布）
Stacked Map（圆片叠片图）
Map Viewer（Map查看器）
Map 对比报告
Map 手动Ink
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Wafer Map
Wafer Sort STDF：
一般情况下大家都知道Wafer Sort STDF和Final Test STDF的区别是
Wafer Sort STDF里面每颗die都包含了X-Y坐标信息。不仅仅如此，Wafer Sort的STDF中还包
含WIR/WRR信息。在一个STDF中可能包含很多片晶圆的数据，每片晶圆的数据在STDF中都
包含在WIR/WRR的对中。所以在NEDA的文件列表中，当你单击对应的行时，如果它是Wafer
Sort STDF，会把它包含的wafer信息显示在下面（需要完全解析之后）。X-Y坐标信息在“原始
数据”功能列表中查看。
点击文件行->Wafer 信息
每颗Die的坐标信息
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Wafer Map
Wafer Map:
是晶圆测试中非常重要的分析工具，可以展示圆片上的Die的Pass/Fail分布。
可以检查是否在晶圆的特定区域会有特定Bin的fail。
创建：
创建Wafer Map非常简单，在STDF文件解析完成之后，点击工具栏上图标（点击
右边的小三角展开选择Map格式的工具），默认会生成Excel格式的Map。当然你也可以根据自
己的需求选择HTML或者TXT格式。
格式：
Excel和HTML格式的map具有颜色区分特性，浏览起来非常清晰。其中Excel格式
的map的summary信息更加容易看，而HTML格式的map还具有一些交互功能，可以随着鼠标
显示坐标，也可以缩放Map等。而TXT格式的map比较单调，但是文件Size非常小。
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Excel格式的Map
HTML格式的Map
TXT格式的Map
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
自动重测的wafer Summary
：一般在Wafer测试过程中会有自动重测的机制，这会导
致最终的summary跟实际Die的总数不一致。所以在wafer Map中我们提供的summary是真实的
Summary （对于重测die不重复计数），这个可能跟NEDA Summary View里面显示的summary
数量不一致（NEDA Summary View里面的信息来自于STDF文件末尾的summary相关记录）。
示例如下：良品数量一样，但是总数和不良品的数量不一样（由于Wafer自动复测导致的）
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
参数Map
Parametric Map：
参数Map也是一个非常有用的晶圆分析工具，它把选定的测试项的测
试值Map到晶圆的每一个Die上。并把测试值按照区间对应不同的颜色，这样就可以看出来测试
项的值在晶圆上是否具有一定的分布规律，由此判断wafer制程和封装的研磨等制程是否有异常。
颜色卡：
NEDA的Parametric Map颜色卡从蓝色到红色的渐变代表测试值从低到高的变化。
Lot信息
缩放菜单
颜色卡
明显的Pattern：wafer中间
Leakage数值偏高
无明显的Pattern
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
圆片叠片图（Stacked Map）
叠片图：
是把多片Wafer的数据放在一起作出一个Wafer Map，其中数值代表当前坐标fail
的次数，如果数值越高说明几片Wafer在同一个位置的fail次数越多，可以看出是否在某些位置会
出现重复的fail。叠片图也是HTML格式，可以缩放和查看坐标。
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Map查看器（Map Viewer）
什么是Map Viewer：
Map Viewer 是从V12.90版本添加的新的Map工具，可以用来查
看Wafer Map, Stacked Map和Parametric Map。这个工具的交互性非常好，可以缩放Map、选中
特定Die、修改颜色选中Die的颜色；还可以旋转Map、导出Map到Bmp, Excel 和Txt格式。当
有多个Map加载进来是，可以随意切换当前要显示的map；还可以把多个Wafer Map转换为
Stacked Map。
我们可以为客户定制开发特定的map格式，在Map Viewer中可以将wafer map保存为特定
的格式，如有需要请联系*****************.我们也可以为客户定制map加载器，可以把客户其
他格式的map加载到WaferMapViewer里面进行查看，旋转，Ink，导出等操作。
定制的Map导出格式
Map对比
纵坐标转换
Map导出功能
修改选中Die的颜色
取消选择
MapSet和Wafer选择
转换成叠片Map
Ink工具
初始缩放比例
旋转
折叠视图
点击选择特定
Bin的所有die
图例区
Map区域 LOT/Wafer信息区
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
缩放：鼠标放置于Map区域，滚动滚轮，Map会以鼠标位置为中心进行缩放。
Map类型和转换：
Map的类型主要有三种，在Map Viewer中可以将Wafer Map转成Stacked
Map;也可以将Parametric Map转成Parametric Pass/fail Map, 然后再转成Parametric Stacked
Map：
1）Wafer Map: map上显示每个die的software bin, 每个wafer一个Map;
2) Stacked Map: 叠片图，map上显示当前坐标fail的次数，一个叠片图由多片wafer map叠加计
算得出；
3)Parametric Map: 测试参数的map图，这个是把某个测试项的结果分段，然后在Map上用不同颜
色表示不同结果分段，这样就可以看出来map上是不是有某些区域的值偏高或者偏低；
4) Parametric Pass/Fail Map: 这个类似于wafer map，但是是根据某个测试项的pass/fail结果标记
每个die的颜色的；
5) Parametric Stacked Map: 这个也是叠片的map，但是是用参数Pass/Fail的map叠出来的
In Map Viewer
Parametric
Wafer
Maps
Map
Stacked
Map
Parametric
Pass/Fail
Maps
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Map对比报告
在MapViewer中你可以生成Map对比报告，用来查看2个Map的correlation和Bin Shifting
情况。直接在MapViewer的工具栏上点击图标来生成Excel格式的Map对比报告，这个在
Wafer Sort correlation的时候非常有用。在做Map对比报告的时候需要注意一下几点：
你需要加载2个STDF的文件，每个文件仅包含1片Wafer的数据
2片Wafer的Map数据的行列数量需要一致
2个STDF文件的LOT_ID必须不一样，你可以在解析之前手动修改LOT_ID
Map对比报告的Excel中有5个Sheet，分别是： Bin Summary统计对比，第一片的Map，
第二片的Map，合并的map， Bin Shifting的数据汇总。
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Map 手动Ink功能
Map的手动Ink就是在MapViewer中把选中的所有Die标记为特定的fail bin，然后在导出到
特定的格式（一般需要与定制化的Map导出格式配合使用）。
取消选择
手动Ink按钮
Ink的目标Bin
撤销Ink
在InkDie之前首先要选中需要Ink的die，这里介绍一下在MapViewer里面选择Die的操作。
1. 通过鼠标左键单击多次来选中多颗die
2. 通过鼠标左键单击已选中的die来取消选择某个die
3. 通过鼠标左键甩拽来选中一个矩形区域的所有die
4. 通过鼠标左键甩拽来选择鼠标轨迹经过的die (以一个已选中的die开始)
5. 通过工具栏“取消选择”按钮或者右键任意die来取消所有die的选中状态
从选中die
开始甩拽选
中鼠标经过
的轨迹
在选中所需要Ink的die之后，按InkButton (马克笔头按钮)来Ink掉它们，在Ink之前需要确
认一下InkButton后面的选中的FailBin #。在Ink掉选中的die之后，如果发现Ink错了可以撤销
Ink，这个撤销只能撤销最后一次的Ink。
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Ink过的die会呈现对应failbin的颜色，但是同时又以纹理背景区别与非Ink的faildie。这种
Ink的凸显状态和选中的状态在缩放过程中都会一直保持，在您切换过Lot或者wafer之后就消失，
但是Ink的数据是已经保存了的，在您导出map的时候都会体现出来。
定制化Map格式，有些客户需要将Ink过的Map导出为Prober可以load的格式，或者
Assembly机器可以load的格式，以便在后面的制程中使用这些修改过的map。这时候您需要联系
我们并提供相关的map格式spec来定制化开发您所需要的导出格式插件。
Map自动Ink功能和规则定制开发
我们可以为客户定制自动Ink的规则，可以让用户在MapViewer里面实现一键Ink (按照定制
好的Ink规则)。具体需求可以联系*****************
我们还可以为客户定制自动程序，实时解析STDF，生成map并根据定制的规则自动Ink，然
后导出特定的格式。
第七章 晶圆分析 NEDA Desktop Edition
使用手册
Map坐标原点位置
Wafer Map坐标原点位置默认在左上，有些wafer map的坐标原点在左下，还有在右上和右
下的。一般CP的STDF的WCR中存储了坐标原点的设定，NEDA可以根据这个设定自动转换原
点的位置。如果您需要手动指定坐标原点的位置，可以在NEDA的设置中跟改。打开NEDA的菜
单 编辑 – 首选项，找到坐标原点位置设定。
在Map Viewer导出的Excel Map格式中，我们在坐标原点的地方用绿色标记了，这样更加容
易一眼看到坐标原点的位置。
软件安装与激活
软件配置
测试项标识设置*
转移授权
NEDA STDF解析插件
nSTD 写入库
Terabase测试数据中心系统
其他
8
第八章 其他 NEDA Desktop Edition
使用手册
软件安装
下载：
请到NEDA的官方网站(软件下载页面)下载NEDA最新的安装程序
安装：
安装NEDA需要管理员权限，请在管理员账号下安装NEDA，确保安装后运行自动注册脚本。
如果自动注册不成功，请手动运行安装目录下的注册软件(在管理员账号下)。
只有成功注册后，才能激活成功。
激活：
激活可以在管理员账号下进行，也可以在普通用户账号下进行。激活步骤如下：1) 保存您
获得的授权文件.dat， 2) 菜单【帮助】 ->【授权】 ->【用key文件激活】3) 然后在弹出的窗体中
选择您刚保存的.dat文件，最后关掉NEDA并重新打开一下即可。
注意：
如果激活时遇到下面的报错说明安装时软件注册不成功，请在管理员账号下重新运行安装
目录下的
第八章 其他 NEDA Desktop Edition
使用手册
软件激活
机器码(硬件识别码)：
通过菜单【帮助】->【授权】->【获取机器码】，获取一串类似54RD0-86CSU-AHTSH-
KP2OI-IIH7Q-F7U54的识别码，这个是获取授权时所必要的识别码。
获取试用授权：
1) 安装好NEDA后，把机器码提交到我们的网站联系页面 (授权会通过
email发送)
2) 通过菜单【帮助】->【授权】->【在线激活】，在弹出的窗口中填写相关
信息获取试用授权文件(.dat)，然后再通过菜单【帮助】->【授权】->【用
Key文件激活】来激活NEDA
第八章 其他 NEDA Desktop Edition
使用手册
软件配置
菜单【编辑 - 首选项】
自动更新：
首选项里面可以对软件进行一些常规配置，“Auto Update”是软件的自动更新，
如果勾选了，NEDA每次再启动是会检查网站是否有新的NEDA版本发布，如果NEDA有新的软
件版本发布在网站上，则会询问是否下载更新，在得到确认后会启动NEDA更新工具下载并安装
新版本的NEDA。当然这需要客户端电脑可以访问网络。自动更新会给NEDA的启动带来一点点
延时，如果不需要自动更新，可以关闭这个选项。
授权类型：
如果您是用的共享版授权（floating License），那需要选择“共享版”，同时
指定共享授权服务器的IP地址和端口（默认2015）。使用共享版授权时，记得分析完成后及时关
闭NEDA释放对服务器授权的占用。注：共享授权是安装与服务器上的，可以联系
*******************获取服务器授权的使用方式。
Wafer Map 拆分：这个设置是针对Excel格式的Wafer Map，当一个STDF中有很多片
Wafer时，用来设置是否需要把多片Map放到不同的Excel Sheet中（取消选择后则会把多片
Map放在同一个Excel sheet中）。
坐标原点位置“默认”是让NEDA根据WCR的配置来去欸的那个最表原点位置，也可以手
动指定四个方向的任意一个，这个会覆盖WCR的配置。
解析CHIP ID: 设置从哪种记录提取CHIP ID信息， 这个需要用户根据自己的数据的实际情
况来设定。目前支持从DTR和FTR的VECT_NAM中提取，同时用户可以指定关键字用来筛选指
定的DTR/FTR来提取CHIP ID。由于DTR没有SITE_NUM信息，如果某个site数据缺失或者不
完整，则可能会导致DTR在对应site上去时错位。
测试项标识(*)：
1. TEST_NUM: 测试项标识是指在解析STDF的时候通过什么来区分测试项。如果STDF
比较标准的话，测试项的TEST_NUM应该是不重复的，这时候请选择TEST_NUM作为
测试项标识(默认选择)。
2. TEST_NAM: 如果STDF中的TEST_NUM有重复，需要用TEST_NAM来区分测试项，
则需要选择TEST_NAM作为测试项标识。这个设置需要用户根据自己的STDF情况自
己设置，如果设置有误会导致数据解析出来有异常(缺少测试项 / 某些测试项数据被覆盖 /
有些测试项没有limit / 只有第一颗die有数据)。
3. TEST_INDEX: 如果TEST_NUM重复，相同测试项的TEST_NAM在不同die里面又不
一样，那么就没有办法区分测试项了。这个时候只能按照测试项出现的顺序来区分，在
每个die中出现在同样位置的测试项被认为是同一个测试项(不管TEST_NUM，
TEST_NAM是否相同)。这里还有一个小的问题，就是有可能在某个die的测试中会多出
来一些测试项，而这个测试项又不在最后，那么会导致这个测试项后面的所有测试项错
位。
第八章 其他 NEDA Desktop Edition
使用手册
报表格式：这里设置报告的格式是PDF还是Word，Word版本的报告可以在office中编辑然
后再转成PDF格式。这个设置对于：ReportBuilder, 通用报告和统计分析报告。
Chip ID解
析配置
测试项标志
和解析设置
Wafer Map
相关配置
软件自动
更新开关
授权类型设置
报表格式，可以选
择PDF或者Word
第八章 其他 NEDA Desktop Edition
使用手册
转移授权
NEDA授权
是根据硬件识别码(机器码)来生成的，如果您的电脑更改了硬件(CPU, 主板，硬
盘，网卡等)或者重装了Windows系统，都可能导致授权失效。另外您有时候可能也有把授权转移
到另一台电脑的需求。这个时候请按照下面的步骤操作。
释放授权：
首先您需要在做硬件/软件系统更改之前释放授权，菜单【帮助】- 【授权】 -
【释放授权】，NEDA会提示您生成一个.rls文件，授权释放成功之后，当前电脑的NEDA将不在
可用。
发送到Nornion确认：
然后您需要把.rls文件发送给我们确认*******************，
我们确认好之后会回复您。然后您就可以做软件/硬件更改，完成之后重新安装NEDA, 如果是转移
授权，直接在另一台电脑上安装NEDA。然后把新的机器码发给我们。
用新授权激活：
我们收到新的机器码之后会发给您新的授权，您只需要用新授权激活即可。
第八章 其他 NEDA Desktop Edition
使用手册
解析插件
为了让NEDA能够解析除了STDF以外的数据格式，我们在不断给NEDA添加解析插件，目
前已经有两个解析插件可以了。一个是Teradyne Eagle测试上的log格式数据解析插件，可以解
析txt格式的Eagle平台log文件，然后导入到NEDA中做统计分析。另一个是AccoTest上的
CSV格式的数据文件解析插件。
NEDA还支持WAT数据加载进来进行统计分析，目前支持TSMC, SMIC和UMC的WAT数
据格式。
用户可以通过菜单[插件]来打开对应的数据文件，NEDA会自动调用对用的解析插件解析数据，
完成之后会把解析好的数据导入的NEDA中做各种统计分析。
NEDA STDF解析库
NEDA STDF分析工具同时提供了一个基于.NET的库文件，这个库可以让客户基于
NEDA做二次开发。
主要是被调用来解析STDF文件，并返回解析出来的数据的。客户可以用来开发工
具把生产的STDF文件逐一解析并把得到的数据存入数据库，作为以后的大数据分析和追查。
的调用传入STDF文件名，解析完成后返回多个DataTable。详细内容见参看
“NEDA_STDF_Loader_开发手册”。
NEDAnSTD写入库
NEDA nSTD Writer写入库是一个基于.NET的库文件，可以让客户创建STDF文件。这个库
文件可以让测试机的厂商方便地创建STDF格式的测试数据。详细内容请参看
“NEDA_nSTD_Writer_开发手册”。
Terabase 测试数据中心系统
Tarabase (简称TBS) 是数据库版的测试数据存储和分析系统，TBS会自动解析上抛的测试数
据然后解析存入数据库，TBS提供一个web版的数据查询和分析系统。TBS是专为企业设计的大
数据存储和分析系统。
请联系
*******************获取详细信息。
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