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2024年1月16日发(作者:)
深入了解芯片制造原理及工艺
随着计算机技术的不断发展,芯片成为了电子技术中不可或缺的一部分。它是电子产品的核心,决定着产品的性能和功能。芯片的制造过程是一项十分复杂的工艺,需要多方面知识和技术的支持。
芯片制造一般分为六个步骤:
1. 晶圆制备:晶圆是芯片制造的载体,通常是将纯净的硅材料通过熔融法、浇铸法、拉拔法等方法制造成圆片状的硅晶。晶圆的制备过程十分严格,需要控制温度、熔解度等多种因素。
2. 清洗:晶圆表面有氧化层和杂质等杂质物质,需要进行清洗。通常采用化学方法,如酸溶解、碱洗涤等。
3. 光刻:光刻是指光面板上的图形模板镀上一层光敏剂,再通过曝光和显影制造出掩模。掩模上的图形就是芯片上的电路图案。
4. 刻蚀:将掩模作为模板放在晶圆上,通过化学腐蚀将电路图案刻在晶圆表面。主要分为干法和湿法刻蚀两种。
5. 沉积:通过物理化学方法在晶圆上沉积一层金属或氧化物作为电极或绝缘层。沉积材料的厚度、结晶结构、内部结构等参数要求都极为精细。
6. 包封:将制作好的零件用封装材料进行封装,其中还要进行脱气、固化等工序。
以上六个步骤是芯片制造的基本流程,每个步骤都落实到源头,工艺流程参差不一,但都遵循了其内容。
在芯片制造的过程中,有几个参数十分重要:尺寸、掺杂浓度、载流子迁移度等。通常情况下,芯片工艺流程的优化都是为了在某些重要指数上提升成品的品质水平,进而实现新颖的功能和性能,综合提高成品的价值。
芯片制造的核心技术源于微纳米领域,含:“熔融、半导体、大化、材料工程、电子学、计算机控制其它物理科学和相关的技术”。技术的不断发育,则必将带来芯片制造的创新。
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