薄膜晶体管液晶显示器件生产企业进口生产设备清单

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2024年6月10日发(作者：)

薄膜晶体管液晶显示器件生产企业进口生产设备清单

序号 工序 设备分类 设备名称 英文名称（供参考）

1

等离子增强化学气相淀积设备/

化学气相沉积机/等离子加强气

PECVD/CVD/P1asma

相沉积设备/化学气相成膜装置

Chemica1VaporDeposition

Enhanced

2

常压化学气相淀积设备

APCVD

Sputter/ITO

Sputter

3

溅射机（装置）/真空金属溅镀机

Sputter/Meta1

成膜设备

/金属/金属氧化物/锢锡氧化物

Sputter/Meta1/IGZO/ITO

Equipment

成膜装置

离子注入机/离子植入机

IonImpIantZImpIanter 4

5

Treatment

特殊尾气处理装置/废气处理机

Gas

/

CVD

制程残气处理机/燃烧式

EquipmentzscrubberZCombustiontypewast

尾气处理设备/无膜机

CVD

制程

egasabatementequipme∩t∕Gasscrubbersyst

em

残气处理机

6

7

8

涂胶显影机（装置）

涂胶机

显影机

阵列

Track/Coater

Equipment/Coater

PreCoater/Coater

Deve1oper

Deve1oper

Deve1operRecyc1eSystem/TMAH

9

显像液供给再生设备/显影液再

deve1operdi1utionequipment/TMAH

生系统设备/显影液循环系统/显

deve1operdi1utionrecyc1emanagement

影液稀释再生管理装置

光刻系统

equipment

10

浓度管理设备（装置）/显影液浓

Deve1operContro1System/Deve1operMan

agementEquipment

度管理装置/现地供应系统

TemperatureContro1Unit/Before

11

玻璃温控机/曝光前基板温度安

Exposure Temperature

定装置/贴合前温度调节装置

Contro1Unit/Pre-bondingTemperature

Regu1atingEquipment

12

紫外光固化装置

/1

线紫外线处理

UVCureEquipmentZIUVsystem/1-UV

系统/紫外线曝光机

ExposureSystem/Scanner

13

曝光机（一次/分步）/曝光机（装

Exposure/Exposure

曝光装置

置）/阵列曝光机

(Equipment)/Array

ExposureZExposure

System

14

序号

工序

设备分类

设备名称

英文名称(供参考)

Tit1er&EdgeExpo./Tit1er/Edgee×posure∕Arr

周边曝光&印字曝光机/打标机/

ayTi1terwithEdgeExposureZEdgeexposure/

边缘曝光机/边缘打码曝光系统/

EXPOSURE-

EDGE(equipment)/EdgeExposure

周边曝光机（装置）

Equipment

15

软

X

射线静电消除器

/X

射线静电

Photo1onizer/1onizer

消除器

湿法刻蚀机（装置）/阵列湿法刻

WetEtcher(Equipment)/ArrayWetEtcherr

蚀机/化学湿法蚀刻机

刻蚀/去胶

设备

干刻蚀机（装置

）（CDE∕RIE∕PE）

/

干刻灰化机

DryEtcher/DryAsher

16

17

台/干法刻蚀机

18

EPD

终点探测系统

/EPD

终点探

刻蚀/去胶

19

20

21

22

23

测机（设备）/终点检测仪

剥离装置/剥离机/湿式剥离机

退火炉/快速退火炉/烘干炉/

烧结炉装置

EPDSystem

StripperZWetStripper/ResistStripperEquipm

ent

Annea1M/C/Ovenequipme∩t∕A∩∩ea1oven

D1Annea1/RapidTherma1Annea1

Excimer1aserAnnea1/E1A

Pre-CompactionSystem

设备

退火处理机/快速退火处理机

退火设备类

激光退火机

预处理装置

阵列

24

激光化学气相沉积修补机（设备）

/配线修正装置/激光化学成膜机

1aserCVDRepair/ArrayCVD

Repair/1aserCVDRepairEquipment

激光修补机/激光修补机

-CF

1aserRepair 25

26

返修设备

27

28

29

30

31

32

切割修复机/激光切割修复机/激

ArrayCutRepair

光修复仪

阵列研磨修复机

化学气相淀积修复机

光刻胶激光修正装置

Arraytaperepair

ArrayCVDRepair

Photoresist1aserRepairEquipment

异物研磨装置

GrindingRepairEquipment

激光打标机/激光打码机（装置）

1aserMarkSystemZ1aserMark

曝光设备

配向膜印刷机（装置）

P1Coater

成盒

33

取向膜印刷

配向膜固化机（装置）/配向膜硬

P1MainCure/PIMaincureOve/PIOvenEquip

设备

化机/配向膜硬化炉/配向烘烤装

ment

置

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