CASAXPS的用法介绍

admin管理员组

文章数量:1531517

2024年3月28日发(作者：)

1. 软件为绿色破解版，将软件压缩包直接解压到电脑中，打开软件在

Help>>About casaxps 输入User Name：G59 U Iowa和License：ffff2c44 >>update

License>>ok（注意User Name中的空格）

2. 打开数据：

打开数据*.VMS文件，或从file>>Open打开；

3. 标识并标注元素：

左键双击全谱谱图（widescan），再点击左窗口，在工具栏中点击

，弹出周期表，点全谱（widescan）中的峰，周期表中会显示该峰位附近的可能元素。

通常识别谱峰是什么元素，需元素各轨道的峰都能在谱图中找到。标识后左图会出现标识元

素各轨道位置，再点在peak label选项，按ctrl选择需要标注的峰再点，

选择Annotation History选项，图中标识好的文字出现小红框可以在图中拖动到合适位置；

然后在

中点

4. 全谱中半定量计算：

选择一个样品的全谱，用

手动删除错误的标识，点击

标识谱图中的元素（上述3），或直接点

，左图出现百分含量，点

，再

，在regions选项

中选择元素，放大该位置谱图调整（左键拖动）所扣背底（Background）的起始边和结束边。

5.分谱中半定量计算：

5.1 先对样品的每个分谱进行扣背底（Background），然后选中要计算的元素，如图

，在的report spec.选项中点，结果显示。

5.2如果要详细计算各化学状态的百分含量，则需对各峰进行分峰，并更改下图中的Name

以区别各元素状态：

在

的report spec.选项中点，结果显示。

的component选项卡下，显示：

5.3 只计算某元素的各化学状态的百分含量，则分峰，在

6. 数据处理：

选择指定的谱图，点

。通过不同的选项卡对谱图进行校准、平滑等。

7. 数据的通常处理：

7. 1对谱图进行校准（calibration选项卡中，输入ture（实际值，一般以污染碳C1s 284.8eV

为标准），再点谱图中measure中显示鼠标点击的峰位置，点

品的其他数据点）如图：

。

7.2对谱图扣背底（background）和分峰，点，在region选项卡中创建背

，再选择同一样

底基线，基线的起始start和截止end边可以用鼠标拖动到合适位置，再在component选项

卡中分峰。点就会出现一个拟合的峰

分峰理论上是需要遵循分峰规则。详细分峰规则为网上搜索：

1.对于p、d、f等能级的次能级（如p

3/2

、p

1/2

，光电子能谱中一般省略/2，即为p3、p1）强

度比是一定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f

中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。

2.对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离也基本上是固定的，如同一

价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右，具体化

学状态下能级分裂的两个轨道之间的距离会有不同。

3.对于FWHM(半峰宽)，因为基本上样品是用Al（Mono）做的，在Pe10(只适用于本仪器），

如单质银 Ag 3d

5/2

峰的FWHM为0.48eV左右，Ag 3d5/2和Ag 3d

3/2

的FWHM尽量接近一致。

大部分FWHM理论是小于2eV，但是也不一定，主要看文献和相关数据库。对于一致的仪

器及仪器参数各数据的GL高斯－洛伦兹比应保持一致，具体数据不定。

具体参数如下图

图中：（更改参数后要按回车确定）

RSF

为相对灵敏度因子，

Line Shape

为拟合峰的洛伦茨－高

斯函数比【如GL（n）表示n=0纯高

斯曲线，n=100为纯洛伦茨曲线】，

对于一致的仪器及仪器参数各数据

的GL高斯－洛伦兹比应保持一致，

具体数据不定。部分金属单质的峰容

易不对称，如Pt等，用可峰型 A

（0.35，0.4，1）GL(50)。

Area constr.

面积限制，一般.对于

p、d、f等能级的次能级（如p

3/2

、

p

1/2

，光电子能谱中一般省略/2，即

为p3、p1）强度比是一定的，

p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在

峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f

中同一价态的W4f7和W4f5峰面积

比应为4:3。图中显示A峰面积:B峰

面积＝4:3

Fwhm constr.

半高宽限制，一般因为基本上样品是用Al（Mono）做的，在Pe10(只适用于

本仪器），如单质银 Ag 3d

5/2

峰的FWHM为0.48eV左右，Ag 3d5/2和Ag 3d

3/2

的FWHM尽量

接近一致，但部分氧化物的劈裂峰FWHM不一致，如TiO2中的Ti 2p，主要以看标准谱图

为依据。大部分FWHM理论是小于2eV，但是也不一定，主要看文献和相关数据库。

Position constr.

对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离也基本上是

固定的，如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV

左右，具体化学状态下能级分裂的两个轨道之间的距离会有不同。

7. 导出数据和谱图：

左键双击右窗口某一数据栏“如

7.1 点击工具栏中

”（变淡黄），左窗口出现该谱图。

标识的快捷按钮，弹出保存窗口；

标识的快捷按钮，弹出保存窗口。 7.2 点击左窗口谱图，再点击

8.数据说明：

导出来的数据导入origin中后，会出现两组数据，一般用后一组数据X轴:B.E.(binding

energy) Y轴：CPS(count per second)，注意圆圈中，B.E.是否该为X。

一般样品数据在casaxps中显示，例：图中表示5个样品的测试数据，每个样品的谱图

为：widescan、O 1s、C 1s、Si 2p

本文标签： 数据元素标识样品分峰